前期油泵泵的维护
1.安全信息
泵必须由接受过适当培训的技术员来维护；
确认该技术员对泵油及系统的产物十分熟悉；
做维护之前必须将泵停下，降到安全的温度；
断开泵及其他元件与电路的连接，以避免发生意外；
维护完毕，在没接上电源之前，重新检查一下泵的旋转方向；
‘O’ rings 和垫圈如果损坏不可重复利用；
在运转过程中，泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害；
维护完毕后，应检查是否有泄露的地方，如有，应重新密封；
不要接触或吸入泵受高温（260℃）产生的热降解的产物，它们是很危险的，包括油、油脂和真空脂。
2.维护计划
为使泵能正常工作，需参照下表做其维护
维护项目 频率
检查油位需要时，每月
更换泵油工作3000 h
检查并清洗入口滤器每次换油时
清洁前置真空泵载气滤网每次换油时
清洗马达风扇周围每年
清洗泵四周每工作15000 h
安装新刀片每工作15000 h
检查马达的状态每工作15000 h
检查前置真空泵油位
根据需要，可以在泵运转的时候检查油位，但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。
1.透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在最低限以上，最高限以 2.如果油位在最低限或低于最低限，打开加油孔，加油至最高限，如加得过满可从出口放掉点。
3.如果油污染严重时，放掉受污染的油，清洗泵后加入干净的油。
更换前置真空泵油
1.开启泵运转10分钟以加热泵油，然后关泵(油加热后可降低其粘性，比较容易倒出来)。
2断开泵和电路及真空系统的连接。 3.取下加油孔的塞子 4.将泵放在一个适当的支撑物（如：凳子）上以方便泵的倾斜，在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子，让油在重力的作用下流到容器中。
5.油受到污染时：
5.1取下加油孔的塞子，倒进干净的油。
5.2重新连上泵和电路的连接，开泵运转5-10分钟。
5.3断开泵和电路的连接，取下排油口的塞子，让油流出来。
5.4重复上述步骤直到将泵清洗干净。
6.塞上排油口的塞子，移掉支撑物，重新接上泵和电路及真空系统的连接 。
7.装上新油，直到油位达到MAX位置附近。
8.等几分钟直到油抽到泵中，需要的话，可再添油（需再关泵）。塞上加油孔的塞子。
检查和清洁前置真空泵入口过滤器 。 1.旋开入口转接器，取下‘O’ ring，弹性挡圈和入口过滤器。
2.用适当的溶液清洗入口过滤器，阴干入口过滤器。 3.重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ ring和入口转接器。
清洁前置真空泵载气滤网
1.取下固定垫圈
2.取下金属丝网及滤头元件
3.用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件，阴干后重新装在泵上
4.重新固定好固定垫圈
清洗马达风扇周围
1.关掉泵，断开其与电源的连接
2.利用干的布或毛刷清除电动机的风扇罩和围栏的污染物
注意:
如果电动机的风扇罩及周围不保持干净的话，进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热。